В настоящее время на мировом рынке практически нет высокоточных акселерометров, которые бы одновременно обладали широким диапазоном измерения ускорений по нескольким осям, а также высокими точностью и надежностью.
Новый высокоточный акселерометр отвечает всем указанным выше требованиям.
Наименование параметра | Значение |
Диапазон измерений | ±30g |
Разрешение | <2мg |
Спектральная плотность шума | 225 μg/√Гц |
Частота измерений | 1-120 Гц |
Устойчивость к ударным воздействиям (без отладочной платы) | до 3000 g |
Напряжение питания | 5 В |
Интерфейс (отладочной платы) | USB или RS232 |
Нелинейность | <1% |
Рабочая температура | -40 … +85 °С |
Вес (с отладочной платой) | 21 г |
Габаритные размеры (с отладочной платой) | 5×5 см |
Высокоточные МЭМС-акселерометры ±30 g изготавливаются по технологии глубокого реактивного ионного травления. Эта технология обеспечивает получение структур с высоким аспектным разрешением (соотношением высоты структурных элементов к ширине), что, в свою очередь, обеспечивает высокую точность и линейность измерений.
Некоторые возможные сферы применения высокоточных акселерометров:
- промышленная электроника;
- авиация;
- космос;
- автомобилестроение;
- судостроение;
- нефтегазовая отрасль;
- медицина;
- железнодорожный транспорт;
- медицина;
- энергетика.