Микроэлектромеханические системы (МЭМС) – небольшие устройства, объединенные с полупроводниковыми приборами и сочетающие характеристики электронных схем и механических компонентов.

Различные типы МЭМС требуют контроля параметров при различных физических воздействиях, воздействий температур и прочих условиях, определяющих функциональность устройства. Обычно для достижения надежной и точной проверки устройства требуется тщательный выбор, дизайн, и интеграция каждого компонента подсистемы, включая измерительное оборудование, устройство для механического воздействия, тестовый адаптер, оборудование для задания температурных режимов и программное обеспечение.

Решение для мелкосерийного производства.

Полуавтоматическое (участие оператора минимально) решение для мелкосерийного производства обычно включает в себя:

• измерительное оборудование, в качестве которого применяется универсальный комплекс измерительный FT-17;
• тестовый адаптер с контактными устройствами для установки одного или более объекта тестирования;
• оборудование для задания физических воздействий на объект тестирования.

Тестовый адаптер устанавливается на оборудование для задания физических воздействий и при помощи кабельного комплекта стыкуется с измерительной системой. Все компоненты системы объединены одной программной средой, задача которой контролировать процесс тестирования, задавать воздействующие условия, измерять выходные сигналы, накапливать статистику и т.д.
Оборудование для задания физических воздействий может представлять собой как простые стенды для имитации какого-либо одного воздействия, так и сложные многокомпонентные стенды.

Примеры решений

Применяется для контроля параметров MEMS акселерометров на производстве и входном контроле.

Контролируемые параметры:

• коэффициент преобразования MEMS;
• нестабильность коэффициента преобразования при изменении температуры;
• линейность коэффициента преобразования;
• ток потребления MEMS;
• значение смещения нуля и нестабильность смещения нуля;
• динамические характеристики MEMS (полоса пропускания).

Состав системы:

1. Калибровочный вибростенд TV 51140-C (Tira)
2. Мобильная испытательная система TP04300A (Temptronic)
3. Комплекс измерительный для функционального контроля FT-17

Основные характеристики:

• максимальное задаваемое ускорение – до 68g;
• диапазон задания частоты вибросистемой – от 40 Гц до 25 кГц;
• максимальное выталкивающее усилие – 400 Н;
• диапазон задаваемых температур термосистемой – от минус 80°C до +225°C
• скорость изменения температуры — от  минус 55°С до +125°С  — 5 сек.
• подача напряжения питания на тестируемый MEMS – от 30 В, 5 А
• сканирование выходных характеристик тестируемых MEMS – при помощи осциллографа, с полосой пропускания 70 МГц;
• одновременное измерение – до 64-х каналов

Метрологическая поддержка

Включён в госреестр средств измерений (сертификат об утверждении типа средства измерения военного назначения).
Тестирование параметров MEMS гироскопов,  датчиков угла. Применяется для контроля параметров MEMS гироскопов, датчиков угла, наклона и угловых скоростей на производстве и входном контроле. Может быть использован для калибровки MEMS акселерометров.

Контролируемые параметры:

• коэффициент преобразования MEMS;
• нестабильность коэффициента преобразования при изменении температуры;
• линейность коэффициента преобразования;
• ток потребления MEMS;
• значение смещения нуля и нестабильность смещения нуля;
• динамические характеристики MEMS (полоса пропускания).

Состав системы:

1. Двухосевой стенд задания физического воздействия
2. Температурная камера
3. Комплекс измерительный для функционального контроля FT-17

Основные характеристики:

• диапазон задания угловой скорости – ±1500 °/с (для внутренней оси);
• диапазон задания угла – ±360 ° (для внутренней оси), 0…90 ° (для внешней оси);
• точность задания угловых величин – ±0,0005 °;
• диапазон задаваемых температур термокамерой – от минус 60°C до +125°C
• скорость измерения температуры — 4 °/сек
• подача напряжения питания на тестируемый MEMS – от 30 В, 5 А
• сканирование выходных характеристик тестируемых MEMS – при помощи осциллографа, с полосой пропускания 70 МГц;
• одновременное измерение – до 64-х каналов